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真空泵是一种用于从密闭容器中移除气体分子,从而在容器内产生、改善和维持真空环境的设备。简单说,它就是用来“抽空气"的机器。
真空泵的工作原理主要基于两大方式:
传输泵(Transfer Pumps):通过机械运动或气流,将气体分子从泵的入口压缩并传输到出口,最终排到大气中。这是最常见的一类泵。
正位移泵(Positive Displacement):通过周期性地扩大和缩小泵腔的体积来吸入、捕获和排出气体。例如旋片泵、活塞泵、螺杆泵。
动量传输泵(Momentum Transfer):通过高速旋转的叶片或高速蒸汽流,将动量传递给气体分子,使其向出口方向运动。例如涡轮分子泵、扩散泵。
捕集泵(Entrapment Pumps):通过物理或化学方式将气体分子吸附、冷凝或电离固定在泵内的表面上,而不是将它们排出泵外。例如低温泵、溅射离子泵、吸气剂泵。这类泵通常能
极限真空(Ultimate Vacuum):泵在空载、干燥、清洁的条件下,入口处所能达到力。单位常用 Pa(帕斯卡)、mbar(毫巴)、Torr(托)或 psi。
抽气速率(Pumping Speed):在特定入口压力下,单位时间内泵能从容器中抽走的气体体积。单位常用 m³/h(立方米每小时)、L/s(升每秒)、CFM(立方英尺每分钟)。
启动压力(Starting Pressure):泵可以正常开始工作的最高入口压力。有些泵(如分子泵)不能从大气压开始工作,需要前级泵预抽。
KBS 80 - 50 x 65 |
SDN 510 GSP P11248 |
9243 |
KINAX WT707-214DB140 |
SINEAX P530 -421112311 Input:24000/100V 150/1A 50Hz Range:0-6450 KW Output:4-20mA PS:85-230VAC/DC |
SINEAX P530 -411322311 Input:380V 5A 50Hz Range:0-3300W Output:4-20mA PS:85-230VAC/DC |
PRO-CON 12R |
50/60HZ IP65 In:400V/1.63A Out:230v/2.83A+-2.5% Drawing:G 02103 04 A01 |
226.01-5,5 |
SXE9573-Z70-81-33N |
Gelenkstangenkopf DIN 648 GAXSW 35 - M36x2 Ma?reihe K |
Gelenkstangenkopf DIN 648 GAXSW 30 - M 27x2 Ma?reihe K |
NrE01717VA |
TYPE:K1 ID-Nr.200066 |
6799G06,00-61 |
6799G12,00-60 |
11000125;Drehkopf DK6-P (Auslaufprodukt) |
573/18 1.5mm |
1141-1110-0101 |
NO.0035 147 3.000 W, 230 V |
H22-0050-1002C3 |
113-030-0035 |
6562 |
ROHRHEIZKOERPER MIT SR 6kW 403C600/31/3X3R 230/400V Nr.11710 |
SV1-10/16/315/6 |
SV1-10/32/315/6 |
Typ J-1,5 mm-1000 mm(HT0519) |
Typ J-1,5 mm-300 mm(HT0519) |
Typ J-1,5 mm-1400 mm(HT0521) |
Typ J-1,5 mm-500 mm(HT0521) |
40T-48-4-00-RR-0200 |
D633-313B |
7000-40341-2340300 |
PAS44SBD0200A1BAxxxS / 4 XX X YY X |
8554406.8441.02400 |
Kettenrad 12B-1, Z?hnezahl = 24;(1642 - 24, 2024050) |
SZ 50-16/2-5,5C IE2,159188021802 Ersatz fuer 2011005383 |
TG40-20/22285 |
12.7mm*5m*0.10mm Stainless steel gasket |
572113(replace for 074152) |
77213 |
SP-009-2-WR017-21-1-Z02 |
KS90-104-0000E-000 |
9700142811 |
ZA9020FS |
根据能达到的真空度,通常分为粗/低真空、中真空、高真空和超高真空泵。
类型 | 工作原理 | 真空范围 (Pa) | 特点与应用 |
---|---|---|---|
旋片泵(Rotary Vane Pump) | 正位移。偏心转子带动旋片在泵腔内旋转,将气体吸入、压缩并排出。 | 10⁵ ~ 10⁻¹ (粗/低真空) | 的前级泵(Backing Pump)。结构简单,耐用。需使用真空泵油密封和润滑。广泛应用于实验室、制冷维修、包装等。 |
螺杆泵(Dry Screw Pump) | 正位移。两根啮合的螺杆在泵腔内反向旋转,将气体从一端推向另一端。 | 10⁵ ~ 10⁻² (粗/低真空) | 干式泵(无油),可处理含有少量可凝性蒸汽的气体,不易被污染。是半导体、光伏等行业的标准前级泵。 |
涡旋泵(Scroll Pump) | 正位移。一个静止的和一个 Orbiting 的涡旋盘相互啮合,形成月牙形的密闭空间来压缩气体。 | 10⁵ ~ 10⁻¹ (粗/低真空) | 干式泵,运行平稳安静,振动小。常用于洁净的实验室环境、分析仪器、作为分子泵的前级泵。 |
罗茨泵(Roots Pump) | 正位移。两个“8"字形转子在泵腔内同步反向旋转,高速地将气体从入口输送到出口。 | 10³ ~ 10⁻² (中真空) | 抽速极大,但压缩比低,不能单独使用,必须配合前级泵(如旋片泵)串联工作,组成机组,以在中等真空范围内获得大抽速。用于冶金、化工、镀膜等。 |
涡轮分子泵(Turbomolecular Pump) | 动量传输。高速旋转的叶片(可达数万转/分钟)撞击气体分子,使其定向运动。 | 10⁻¹ ~ 10⁻⁸ (高/超高真空) | 洁净的干式泵,能获得真空。需要前级泵辅助。对振动和冲击敏感。是科研、半导体制造、表面科学等领域获得高真空的核心设备。 |
低温泵(Cryopump) | 捕集泵。利用极低温(约20K以下)的冷板,将气体分子冷凝、吸附和捕集起来。 | 10⁻² ~ 10⁻¹⁰ (高/超高真空) | 洁净的干式泵,抽速极大,是现有抽速最高的真空泵。需要前级泵和粗抽泵。广泛应用于需要快速获得洁净超高真空的领域,如粒子加速器、太空模拟舱、半导体镀膜。 |
油泵 vs 干泵:
油封式泵(如旋片泵):使用油作为密封和润滑介质,价格相对便宜,但存在油蒸气返流污染真空腔体的风险,且需要定期更换真空泵油。
干式泵(如螺杆泵、涡旋泵、分子泵):泵腔内无油,能提供洁净的真空环境,维护需求较低,但通常价格更高。
泵的组合使用:
很多高真空泵(如分子泵、扩散泵)不能直接对抗大气压,必须串联一个“前级泵"(如旋片泵、干泵)先将系统抽到中低真空,然后高真空泵才能启动。
这种组合称为“泵组"或“机组"。
维护:
油泵:定期检查并更换真空泵油是保持其性能和寿命的关键。如果抽除了水蒸气或其他化学气体,油的更换周期需要缩短。
过滤器:在泵的入口处加装灰尘过滤器或微粒过滤器,可以防止杂质进入泵内造成损坏。在出口处加装油雾过滤器可以减少油雾排放到环境中。
干泵:定期清洁泵腔,防止腐蚀和粉末堆积。
德国进口wetravent 真空泵WT601_22H
德国进口wetravent 真空泵WT601_22H
真空泵的应用极其广泛,几乎遍布所有工业和高科技领域:
工业:真空包装、真空吸吊、真空脱气、真空铸造、真空热处理、木材干燥。
半导体与电子:芯片制造(CVD, PVD, Etching)、
平板显示器生产、灯泡制造。
B50271001T322THN0HAAS |
55420D19510 |
G665Z00000207 |
549203003 EL III-20-S-00 |
549200060 EL II-20-K-60 |
Düse RA-1-0.80/4.0 |
spring D-283B 2.5X12.5 ?5X19 |
spring D-085D 0,5X3,0X13,4 |
Spring VD-207L |
D-069 0.5x5.1x25 |
D-130 |
RJ-2 M22x1, Id.-Nr. 200045 |
UC44PC3S421 (10-30VDC) |
8526-6100 |
Art.-Nr. 03-39 Graugu?sp?ne GG 25 DIN 513 60/2, Zolltarif-Nr.: 72044110 ca. 450g |
DM110.5.IM.VM |
415.01.38 |
415.01.50 |
B-3216061 |
5790Z03-032.003;PE-MH/1023 |
V3.0510-96 |
14050.1PZ |
14050.2PZ |
1500.050.75.0.566,1-1x21.1.1 |
PY2-C-025 |
0-000000-12649 |
0-000000-12648 |
HD1K-020GM010 |
ASB 4/LED 5-4-328/15 M NO.60619 |
KLV-43-02400 |
FW1-015GP006 |
科研:电子显微镜、粒子加速器、表面物理实验、太空环境模拟。
医疗:冷冻干燥(制药)、真空吸引(手术)、放射性药物生产。
日常生活:空调和制冷设备的抽真空和冷媒充注。
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